珠三角安捷伦涡轮分子泵维修公司的行业须知

广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦涡轮分子泵维修公司；

涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。

新设计了独立和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。

水泵是输送液体或使液体增压的机械。它将原动机的机械能或其他外部能量传送给液体，使液体能量增加，主要用来输送液体包括水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等。也可输送液体、气体混合物以及含悬浮固体物的液体。

1.    分子泵必须在分子流状态下工作，在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距，而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大气，反而无法显示出它的优越性。

轴封发热填料压得太紧或磨擦

处理方法：放松填料，检查水封管；

水封圈与水封管错位

处理方法：重新检查对准；

冲洗、冷却不良

处理方法：检查冲洗冷却循环管；

机械密封有故障

处理方法：检查机械密封。

正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

　　原因：过热，负载大

　　解决措施：检查冷却系，检查系统

分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

　　原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

　　解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

分子泵启动的条件：

　　①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

　　②、启动时间：

　　同时启动——小系统，防前级泵油上返。

　　延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

传动胶带不用时，应把胶带拆下，用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方，也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。无论在何种情况下，都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质，不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。胶带在使用前，须清除胶带接触面的。

把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净，并涂上机油或浸在柴油中保存。