当停泵后，碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内，如果系统仍保持在真空状态下，碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氮气或干燥空气，则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氢化合物所占比例极小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。

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分子涡轮泵属于液质联用仪的核心部件之一，出现故障只能找仪器公司更换，维修的成本非常高昂，本文在实验室在专业维修公司的帮助下修复了分子涡轮泵，并已正常运行一年多时间，希望能为其它用户维修分子泵提供了一点参考与经验。