广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修厂家;
涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。检查叶轮上是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。
新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。
应用程序提供了对分子泵的远程控制功能,使您可以轻松简便的和监测泵的运行状态,查看泵的参数和参数变化曲线,如功率变化曲线,真空度变化曲线(如果安装有适配的真空计),这在您设计真空系统或抽气工艺时将会非常有用。原因:负载太大,系统真空度不够解决方法:检查系统分子泵轴承为什么会烧毁原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘。您还可以通过该应用程序导出日志文件,并保存在手机上或通过邮件、短信等,与您的同事或安捷伦技术支持团队快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通过电子表格(excel)程序打开并查看,只需点击几下屏幕,就可以方便的进行沟通,这避免反复的询问和确认,开启了一种全新的交流方式。
由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好,因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀,轴承定位受力状态好,使用寿命长,轴承更换过程中转子位置不动,维修方便等特点。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级,抽速可以达到1000L/s,达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间,因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。
轴封发热填料压得太紧或磨擦
处理方法:放松填料,检查水封管;
水封圈与水封管错位
处理方法:重新检查对准;
冲洗、冷却不良
处理方法:检查冲洗冷却循环管;
机械密封有故障
处理方法:检查机械密封。
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
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